多晶硅生产工艺的研究进展

来源：百度文库 编辑：神马文学网 时间：2024/04/27 15:39:54
本报讯河南省洛阳市中硅科技有限公司高效节能大还原炉样机日前试验成功。它是我国第一台12对棒高效节能大还原样机，它的诞生打破了国外的技术垄断。
    多晶硅是信息产业最重要的基础材料，目前多晶硅的先进生产技术主要由美国、日本和德国垄断，这3个国家的7个公司一直对我国实行严格的技术封锁，我国经过20多年的努力都未能引进。现在我国只有洛阳单晶硅有限公司和另一家企业能用传统工艺生产多晶硅，但产量很低。以2002年为例，全国多晶硅的总产量仅有80吨，而我国电子信息产业所需的多晶硅90%依靠进口。
    2003年8月，洛阳单晶硅有限公司、洛阳金丰电化有限公司和中国有色工程设计院总院签约组建了洛阳中硅高科技有限公司，并开始实施年产300吨多晶硅超高纯材料试验项目。大还原炉样机是科研攻关的7项技术中最重要的一项，经过研制部门艰苦攻关，终获成功。
    河南省电子信息产业权威人士称，这台大还原炉样机的试验成功，对于实现年产300吨多晶硅生产计划起着至关重要的作用，这意味着国产多晶硅生产技术已达到国际先进水平。
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