各种泵的原理_扫描电镜SEM

来源：百度文库编辑：神马文学网时间：2024/04/29 21:15:36

各种电镜里配备了不同类型的泵，油扩散泵、机械泵、分之泵及离子泵等等，
油扩散泵

优点
not temperamental
原则上可以抽任何不与泵油反应的气体
可长期连续使用而无需维护
便宜，因为无需特殊的控制系统

缺点

使用液体，只能垂直安装
需要冷却水以及加热需要大量的能源
与真空系统结合处需使用液氮冷阱，防止返油

分子泵

优点

方便，无需冷阱
原则上可把系统直接从大气压抽至超高真空
但实际上由于费时太多，并且对泵体污染较大而采用两级抽气方式，首先使用吸附泵将系统由大气压抽至约10-4 mbar，然后启动分子泵
缺点

抽速与被抽分子的分子量有关，分子量越大，抽速越高，分子量越小，抽速越低，所以持续操作后会残余氢气（或氦气）
有噪音，对工作环境影响大
会产生振动，对一些振动敏感的检测手段（如STM）有很大的影响

离子泵

优点

不使用液体
无需冷却水或液氮
可直接与真空系统相连
可以任意角度安装
无需预热
工作时体系与外界封闭
缺点

对真空要求高（优于10-6 mbar），否则钛板很快钝化失效
对所抽气体有选择性，必须是与钛有反应的气体，对惰性气体无效。即使惰性气体暂时可以被掩埋，仍可能被轰击出来（记忆效应）
溶解的氢或通过逆过程发生脱附，或与和钛结合的碳发生反应，会产生低质量数、气态的碳氢化合物，故离子泵中的主要残余气体为氢气和甲烷
泵体笨重，由于需要强磁场，故需巨大的磁铁
需要数千电子伏特的高压，操作时存在危险
昂贵，需要特殊的控制系统

升华泵

升华泵特点

辅助主泵，不可连续使用
在对真空要求高的实验中，可将真空进一步降低到～10-11 mbar数量级
便宜
体积小

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