微电子工业水质标准

来源：百度文库编辑：神马文学网时间：2024/04/26 16:37:57

LED(TFT) 256K DRAM 1M DRAM 4M DRAM 16M DRAM 64M DRAM
线宽度(um) - 1.4 - 1.8 0.8 - 1.0 0.4 - 0.6 0.2 - 0.3 0.1
电阻率 >18.0 >17.5 >18.0 >18.0 >18.1 >18.1
（Mohm,25℃）
TOC（ppb） <20 <100 <30 <10 <3 <1
微粒（No./ml） (0.1μ) <10/ml (0.2μ) <50/ml (0.1μ) <10/ml (0.05μ) <30/ml (0.03μ) <10/ml (0.03μ) <5/ml
细菌（CFU/ml） <1/100 <10/100 <1/100 <5/1000 <5/1000 <5/1000
溶解氧（ppb） <50 <100 <100 <50 <5 <3
二氧化硅（ppb） <5 <10 <5 <3 <1 <0.5
硼（ppb） - - <2 0.05 0.05 0.05
钠（ppb） <0.1 <0.2 <0.1 <0.1 0.05 0.01
钾（ppb） <0.1 <0.3 <0.1 <0.1 0.05 0.02
锌 <0.05 <0.1 <0.05 <0.05 0.02 0.02
铁 <0.05 　 <0.05 <0.05 0.02 0.02
铜 <0.05 　 <0.05 <0.05 0.005 0.005
氯化物 <0.1 <0.2 <0.1 0.1 0.02 0.02
溴化物　 <0.1 <0.1 0.05 0.02 0.02
硝酸盐　 <0.1 <0.1 0.05 0.02 0.02
硫酸盐　 0.1 <0.2 0.05 0.05 0.05
不溶残渣　 <0.3 0.1 0.05 0.05 0.05

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